Forno per tubi CVD multi-zona 1200C OD120mm 3 zone con uniformità di temperatura +/- 5C

Forno per tubi CVD a più zone 1200C (OD120mm, 3 zone) con uniformità di temperatura +/- 5

Visualizzazione del prodotto per il 1700CForno a tubi rotanti

La stazione di lavoro del forno per tubi CVD a più zone è costituita da un forno per tubi a più zone di riscaldamento, da una stazione di controllo del flusso di massa di gas di precisione,un'unità di pompa ad alto vuoto e altre parti di assemblaggio come il tubo di fornoTmax 1200°C, la velocità di vuoto finale raggiunge i 10^-7 torr con le pompe a vuoto molecolare.La stazione di controllo del flusso di gas di massa mescola tre o più tipi di gas insieme e inserisce il gas misto in un tubo di quarzo o tubi metallici all'interno del fornoIl forno a tubi multi-zona è competente per gli esperimenti di CVD, diffusione e altri trattamenti termici sotto stato di vuoto e protezione dell'atmosfera.

Caratteristiche principali

• Tmax 1200°C
• Forno per tubi CVD orizzontale, diviso, multi-zona
• Inconel 600 in forma di tubo di lavorazione
• Livello massimo di vuoto 10E-7 torr
• Controllo preciso del flusso di massa del gas a 3 canali
• Le zone di riscaldamento multiple controllate separatamente garantiscono un miglioramento del gradiente di temperatura
• Il supporto a doppia flange fornisce una migliore tenuta e una durata di vita più lunga del tubo
• Termocoppie di tipo N
• Certificato CE, standard

Misure di sicurezza

• Ammeter integrato e doppi voltometri per un facile monitoraggio e risoluzione dei problemi.
• La protezione contro il surriscaldamento spegne il forno a tubo CVD se la temperatura è al di fuori dell'intervallo accettabile (si rimanda al manuale del regolatore) o quando la termocoppia è rotta o non funziona.
• La protezione contro il guasto di corrente riprende il funzionamento del forno subito dopo il punto di guasto quando viene ripristinata la corrente.
• Controllo PID basato su microprocessore di auto-adattamento fornisce un processo termico ottimale con un minimo di sovraccarico

Galleria dei prodotti

Vista frontale per forno rotativo a tubi 1200C

Specifiche tecniche

Applicazione

• Non riempire il tubo del forno CVD di gas esplosivi come idrogeno o metano senza i controlli e la supervisione necessari.
• I forni a tubi con tubi metallici sono progettati per essere utilizzati sotto vuoto e bassa pressione < 0,2 bar / 3 psi / 0,02 MPa.
• Le piccole crepe possono comparire sulla superficie della ceramica refrattaria durante un uso prolungato.

Confronto delle dimensioni