Forno a tubo di quarzo 1100C con sublimatore solido precursore per strati 2D di TMD CVD

Riassunto del prodotto per il forno a tubi a anellazione termica a diffusione di ossidazione

Il PTC D110/440/12NG è un forno a tubi a CVD a 1100°C compatto con un dispositivo di sublimazione dei precursori.Le entrate di gas a quattro canali sono costruite sulla sublimazione che consente di alimentare vari gas per trasportare il vapore di fonte nel riscaldatore principale per ulteriore decomposizione e deposizioneIl supporto per il portatore del campione montato sulla flange destra è scorrevole per un facile carico/scarico del campione..

Caratteristiche principali

• sistema di forno CVD compatto con:
• 4.33" O.D x 4.05" I.D x 29.13" Lunghezza tubo di quarzo (OD 110 x ID 103 x L 740, mm)
• 1100oC Max. temperatura di lavoro con precisione di +/- 1oC
• La flangia di raffreddamento dell'acqua sul lato destro è scorrevole per un facile carico del campione
• La flangia di raffreddamento dell'acqua sul lato sinistro tra il riscaldatore e il forno viene utilizzata per l'ingresso del gas pre riscaldato e la sigillatura
• L'ingresso di gas a quattro canali (tubo Dia da 1/8" e montatura del tubo) è integrato nella flangia laterale sinistra
• Un piccolo riscaldatore è collegato alla flangia laterale sinistra del forno per preriscaldare il gas, il liquido o la sostanza chimica solida di ingresso, che verrà quindi consegnata al forno CVD:
• Clicca sull'immagine di sinistra per ulteriori dettagli:
• 1.2'O.D x 6'L tubo SS come camera di riscaldamento
• 1 "ID piccolo tubo di quarzo all'interno del riscaldatore (Figura 2)
• Temperatura di lavoro massima di 400 °C (sulla richiesta è disponibile un riscaldatore a 1000 °C)
• La fianchetta sul lato sinistro è per sigillamento del gas e l'input

Curve di rampa, abitazione e raffreddamento per forni di laboratorio della serie 1200

Misure di sicurezza

• Ammeter integrato e doppi voltometri per un facile monitoraggio e risoluzione dei problemi.
• La protezione contro il surriscaldamento spegne il forno a tubo se la temperatura è al di fuori del range accettabile (si rimanda al manuale del regolatore) o quando la termocoppia è rotta o malfunzionante
• Protezione contro il guasto di corrente riprende il funzionamento del forno subito dopo il punto di guasto quando viene ripristinata la corrente
• Controllo PID basato su microprocessore di auto-adattamento fornisce un processo termico ottimale con un minimo di sovraccarico

Galleria dei prodotti

Dispositivo per sublimatori di precursore per forni a tubo CVD

Specifiche tecniche

Applicazione

• Non riempire il tubo del forno di gas esplosivi come idrogeno o metano senza i necessari controlli di sicurezza e supervisione
• I forni a tubo di laboratorio con tubo di quarzo sono progettati per l'uso sotto vuoto e bassa pressione < 0,2 bar / 3 psi / 0,02 MPa
• Le piccole crepe possono comparire sulla superficie della ceramica refrattaria durante un uso prolungato.

Confronto delle dimensioni